multiphysics-simulation
다중 물리 시뮬레이션
유체 역학, 열 전달, 플라즈마 물리, 표면 반응 등 서로 다른 물리 현상을 결합해 공정 장비 동작을 통합적으로 계산하는 시뮬레이션 방식으로, 공정 파라미터와 장비 설계의 상호작용을 재현해 고밀도 반도체 제조 공정 최적화에 필수적이다.
다중 물리 시뮬레이션
유체 역학, 열 전달, 플라즈마 물리, 표면 반응 등 서로 다른 물리 현상을 결합해 공정 장비 동작을 통합적으로 계산하는 시뮬레이션 방식으로, 공정 파라미터와 장비 설계의 상호작용을 재현해 고밀도 반도체 제조 공정 최적화에 필수적이다.
