미세전자기계시스템
반도체 제조 공정을 이용하여 마이크로미터 단위의 초소형 기계 부품과 전자 회로를 하나의 칩에 집적하는 기술이다. 스마트폰의 가속도계나 자이로스코프처럼 작고 정밀한 센서를 구현하는 데 핵심적인 역할을 한다.